RENISHAW/英国雷尼绍 品牌
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面议平面镜干涉仪适用于XY平台应用。
RLD10发射头内含有干涉镜组、*的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。
| 轴行程 | 0 m至1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模拟正交 = λ/4 (158 nm) |
系统非线性误差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm 1 m/sec且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm |
| 速度 | 可达1 m/sec |
对于非真空应用，为了维持变动环境条件下的精度，需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时方波补偿系统，用于对环境变化进行补偿。
若选用RPI20并行接口并集成到RLE系统中，可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并提供并行输出格式。有关附件的详细信息，请参见RCU10补偿系统和激光尺接口。
英国雷尼绍RLD10平面镜干涉仪
英国雷尼绍RLD10平面镜干涉仪
