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高速微纳加工是啥

时间:2023-07-07      阅读:426

  一、纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。该技术通过机械转移的手段,达到了超高的分辨率,有望在未来取代传统光刻技术,成为微电子、材料领域的重要加工手段。
 
  二、纳米压印技术,是通过光刻胶辅助,将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。报道的加工精度已经达到2纳米,超过了传统光刻技术达到的分辨率。
 
  三、过程:
 
  第一步是模板的加工。一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为模板。由于电子的衍射极限远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率。
 
  第二步是图样的转移。在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将模板压在其表面,采用加压的方式使图案转移到光刻胶上。注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏模板。
 
  第三步是衬底的加工。用紫外光使光刻胶固化,移开模板后,用刻蚀液将上一步未去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,最终得到高精度加工的材料。
 
  四、优势特点:由于纳米压印技术的加工过程不使用可见光或紫外光加工图案,而是使用机械手段进行图案转移,这种方法能达到很高的分辨率。报道的最高分辨率可达2纳米。此外,模板可以反复使用,无疑大大降低了加工成本,也有效缩短了加工时间。因此,纳米压印技术具有超高分辨率、易量产、低成本、一致性高的技术优点,被认为是一种有望代替现有光刻技术的加工手段。
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