气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位，一方面，新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破，尤其是微电子技术的迅速发展，使气体微量流量计量由机械式向智能化、模块化方向发展，其应用范围得到了大的扩展;另一方面，随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高，对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。
 

　　气体微量流量计是依据吸收热的速度直接与质量流量相关的原理，该仪表的传感器由两个基准级热电阻(铂RTD)组成。
 

　　一个是质量速度传感器T1，一个是测量气体温度变化的温度传感器T2。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器T1被加热到气体温度以上的一个恒定的温差，另一个传感器T2用于感应被测气体温度。
 

　　随着气体质量流速的增加，气流带走更多热量,传感器T1的温度下降，要维持T1、T2恒定的温度差，T1的加热功率就要增大。根据热效应的金氏定律。
 

　　移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量，流量越大，接触热电阻的分子越多，吸收的热量越多，热吸收与某种气体的分子数，热学特性和流动特性有关。
 

　　气体微量流量计适用于检测微小气体流量，在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域有着广泛的应用。
 

　　应用范围
 

　　用于气体微量流量计量，测量精度可达ppm级别，可适用于普通气体、惰性气体、稀有气体及轻微腐蚀性气体的测量。适用于氢能、太阳能、沼气技术、环境微生物降解、污水处理、燃料电池等研究领域。
 

　　该流量计采用自主发明技术GasMeteringCell(GMC)，结合自主知识产权的软件，简便、直接测量气体体积或质量，测量精度可达ppm级别。
 

　　可根据需要拓展为多通道，轻松实现平行实验，提高工作效率和数据可靠对比性。