一、气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位，一方面，新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破，尤其是微电子技术的迅速发展，使微量气体计量由机械式向智能化、模块化方向发展，其应用范围得到了极大的扩展；另一方面，随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高，对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。
 

　　二、应用领域：
 

　　1、超微量气体流量计适用于检测微小气体流量，在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域
 

　　2、用于超微流量气体计量，测量精度可达ppm级别，可适用于普通气体、惰性气体、稀有气体及轻微腐蚀性气体的测量。适用于氢能、太阳能、沼气技术、环境微生物降解、污水处理、燃料电池等研究领域。
 

　　三、特点：
 

　　1、RTK超微量气体流量计采用自主发明技术GasMeteringCell(GMC)，结合自主知识产权的软件，简便、精确、直接测量气体体积或质量，测量精度可达ppm级别。
 

　　2、可根据需要拓展为多通道，轻松实现平行实验，提高工作效率和数据可靠对比性。
 

　　四、原理：
 

　　测量范围：最小流量为1毫升/天(ml/d)，最大流量为50升/天(L/d)。
 

　　测量精确度：<1%。
 

　　测量分辨率：<1mL。
 

　　通道数：4通道、8通道、16通道。
 

　　数据显示：PC端界面数据、图形结合显示。
 

　　适用范围：可用于各种常规气体及轻微腐蚀气体的测量。