问：1.质量流量控制器，为什么以SCCM和SLM为单位？

答：从测量原理讲，热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度，采用毛细管温差量热法进行测量，流量控制器测量的就是质量流量，但显示出的数值是通用的标况（101325 Pa; 0℃）体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度，因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。SCCM 与 SLM 为体积流量的行业标准单位，代表标况下的体积流量。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分钟标准升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分钟标准毫升。

问：2.流量控制器对使用条件和环境有什么要求？

答：通常情况是环境温度，流量规格，压力根据产品的型号不同也有差异。

问：3.内漏与外漏区别是什么？

答：内漏是指气体整个气路内部泄漏，主要是电磁调节阀关不死造成的；外漏是管路中气体漏到气路外部，主要是接头密封不严造成的。

问:4.设定点精度与满量程精度的区别是什么？

答:设定点精度是相对于设定点本点的精度，满量程精度是相对于满量程流量的精度。举例：量程为 100SCCM 的流量控制器，当设定 50SCCM 时，其设定点精度为±0.5SCCM，即 50×（±1%）=±0.5SCCM；满量程精度为 ±1SCCM，即100SCCM×（±1%）=±1SCCM。

问:5.什么是产品响应时间？

答:当流量设定点发生变化时，流量控制器的流量稳定达到流量设定点的一定范围内的最短时间。响应时间又分为气特性响应时间和电特性响应时间，气特性响应时间是指实际流量达到设定值所需的时间，电特性响应时间是指流量控制器的输出信号达到设定值所需时间，一般来说气特性响应要快于电特性响应。

高精度  快速响应  支持模拟信号控制  支持数字信号控制  触摸屏控制+PC控制

 

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简介

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用途

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.特种材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.泄漏探测系统

7.环境检测与分析设备

8.分析仪器的气体流量计量与控制

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所