中科院微电子研究所KW-5型匀胶机/旋涂仪

KW-5中科院微电子研究所KW-5型匀胶机/旋涂仪

参考价: 订货量:
9900 1

具体成交价以合同协议为准
2023-11-12 13:02:20
4097
属性:
产地类别:国产;价格区间:1-5万;应用领域:生物产业,电子,航天;
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产品属性
产地类别
国产
价格区间
1-5万
应用领域
生物产业,电子,航天
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北京通世华港设备有限公司

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产品简介

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

详细介绍

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

技术参数及要求:变频调速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
转速:500-5000 转/分
转速稳定性:±1%
旋涂均匀性:±5%
旋涂工艺阶段:2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
整机尺寸(长宽高):425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸(长宽高):425mm×500mm×190mm
电机功率:180W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

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