合理进行压力传感器的过错补偿是其运用的要害。压力传感器首要有偏移量过错、灵敏度过错、线性过错和滞后过错，这篇文章将介绍这四种过错发生的机理和对查验作用的影响，一同将介绍为行进丈量精度的压力标定办法以及运用实例。 
　　现在市场上传感器品种丰富多样，这使得方案工程师能够挑选体系所需的压力传感器。这些传感器既包含根柢的变换器，也包含更为凌乱的带有片上电路的高集成度传感器。因为存在这些区别，方案工程师有必要尽可能够补偿压力传感器的丈量过错，这是保证传感器满意方案和运用央求的首要进程。在某些状况下，补偿还能行进传感器在运用中的全体功用。 
　　这篇文章以摩托罗拉公司的压力传感器为例，所触及的概念适用于各种压力传感器的方案运用。 
　　摩托罗拉公司出产的干流压力传感器是一种单片压阻器材，该器材具有3类： 
　　1. 根柢的或未加补偿标定； 
　　2. 有标定并进行温度补偿； 
　　3. 有标定、补偿和拓展。 
　　偏移量、方案标定以及温度补偿均能够经过薄膜电阻网络结束，这种薄膜电阻网络在封装进程中选用激光修改。 
　　该传感器一般与微控制器联络运用，而微控制器的嵌入软件本身建立了传感器数学模型。微控制器读取了输出电压后，经过模数变换器的变换，该模型能够将电压量变换为压力丈量值。 
　　传感器简略的数学模型即为传递函数。该模型可在全部标定进程中进行优化，而且模型的成熟度将随标定点的添加而添加。 
　　从计量学的视点看，丈量过错具有恰当严重的定义：它表征了丈量压力与实习压力之间的区别。而一般无法直接得到实习压力，但能够经过选用恰当的压力规范加以估量，计量人员一般选用那些精度比被测设备高出少10倍的仪器作为丈量规范。 
　　这种未经标定的初始过错由以下几个有些构成： 
　　a. 偏移量过错。因为在全部压力方案内垂直偏移坚持安稳，因而变换器松散和激光调度修改的改动将发生偏移量过错。 
　　b. 灵敏度过错，发生过错巨细与压力成正比。假定设备的灵敏度高于典型值，灵敏度过错将是压力的递加函数(见图1)。假定灵敏度低于典型值，那么灵敏度过错将是压力的递减函数。该过错的发生缘由在于松散进程的改动。 
　　c. 线性过错。这是一个对初始过错影响较小的要素，该过错的发生缘由在于硅片的物理非线性，但关于带拓展器的传感器，还应包含拓展器的非线性。线性过错曲线能够是凹形曲线，也能够是凸形曲线。 
　　d. 滞后过错：在大多数表象中，滞后过错完够忽略不计，因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力改动很大的表象中思考滞后过错。 
　　标定可消除或地减小这些过错，而补偿技能一般央求断定体系实习传递函数的参数，而不是简略的运用典型值。电位计、可调电阻以及别的硬件均可在补偿进程中选用，而软件则能更灵敏地结束这种过错补偿作业。 
　　一点标定法可经过消除传递函数零点处的漂移来补偿偏移量过错，这类标定办法称为主动归零。 
　　偏移量标定一般在零压力下进行，特别是在差动传感器中，因为在标称条件下差动压力一般为0。关于纯传感器，偏移量标定则要困难一些，因为它要么需求一个压力读取体系，用以丈量其在环境大气压力条件下的标定压力值，要么需求获取希望压力的压力控制器。 
　　差动的零压力标定非常准确，因为标定压力严重为0。另一方面，压力不为0时的标定准确度取决于压力控制器或丈量体系的功用。 
　　挑选标定压力 
　　标定压力的挑选非常首要，因其挑选了获取精度的压力方案。实习上，经过标定后实习的偏移量过错在标定点处小并一向坚持较小的值。因而，标定点有必要根据方针压力方案加以挑选，而压力方案能够不与作业方案相一同。 
　　为了将输出电压变换为压力值，因为实习的灵敏度往往是不知道，因而在数学模型中一般选用典型灵敏度进行单点标定。 
　　这种标定办法与一点标定法比照央求更为严重，结束本钱也更高。然而与一点标定法比照，该办法可显着行进体系的精度，因为该办法不只标定了偏移量，还标定了传感器的灵敏度。因而在过错核算中能够运用灵敏度实习值，而非典型值。 
　　某些运用中央求在全部压力方案内坚持较高的准确度。在这些运用中，能够选用多点标定法来得到理想的作用。在多点标定法中，不只思考了偏移量和灵敏度过错，还思考了大有些的线性过错，如图2紫红色曲线所示。这儿用的数学模型与每个标定间隔(在两个标定点之间)的两级标定*一样。 
　　三点标定 
　　如前所述，线性过错具有一同的办法，且过错曲线契合二次方程的曲线，具有可猜想的巨细和形状。关于未选用拓展器的传感器更是如此，因为传感器的非线性从本质上是根据机械缘由(这是由硅片的薄膜压力致使)。 
　　线性过错特性的描写能够经过核算典型实例的均匀线性过错，断定多项式函数(a×2+bx+c)的参数而得到。断定了a、b和c后得到的模型关于一样类型的传感器都是有用的。该办法能在无需第3个标定点的状况下有用地补偿线性过错。 
　　摩托罗拉MPX2300的补偿实例，MPX2300是一种首要运用于血压丈量的温度补偿传感器。多项式模型可由10个传感器的均匀线性过错得到，补偿后的过错约为大初始线性过错的十至二非常之一，如图3虚线所示。 
　　该过错补偿办法只需两点标定即可将低本钱传感器改善为高功用器材(过错小于满标度的0.05%)。 
　　当然方案工程师要根据实习运用的准确度央求，挑选适合的标定办法，此外还需求思考体系本钱。因为有多种集成度和补偿技能可供挑选，方案工程师可根据不一样的方案央求挑选恰当的办法。