离子分子质谱仪的主要用途：

　　1.掺杂剂与杂质的深度剖析。

 

　　2.薄膜的成份及杂质测定。

 

　　3.超薄薄膜、浅植入的超高深度辨析率剖析。

 

　　4.硅材料整体分析，包含B,C,O,以及N。

 

　　5.工艺工具(离子植入)的高精度分析。

 

　　6.可以用于材料表面和表层的化学成份分析。化学元素或化合物在表面和块体材料内部的分布。以及生物组织表面和内部成份和分布分析。包括如半导体，生物，冶金，汽车等领域。

 

　　离子分子质谱仪送样时注意事项：

　　1、待测试的样品表面不能被沾污；

 

　　2、易潮解，易与空气发生反应的样品，在送样过程中应注意隔离空气；

 

　　3、用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋，以免硅树脂或纤维污染样品表面；

 

　　4、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜，务必先自行在真空加热炉中抽除挥发性分子；如果样品置入真空腔后，隔夜无法抽至5X10E-7torr以下，测试将被取消；