扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。

　　扫描电子显微镜SEM 机构组成

　　扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。

　　扫描电子显微镜SEM 基本参数

　　放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到

　　场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

　　工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。

　　如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。

　　如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。

　　通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。