扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面，参差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在真空环境下观察，因此对样品有一些特殊要求,笼统的讲：干燥,无油,导电.

　　扫描电子显微镜的操作流程

　　(1) 放样品：

　　点击Vent放气后缓慢打开样品室，将样品用导电胶固定在载物台上，为了能在电镜下快速准确地找到样品的像，可提前对样品进行标记，样品放好后关紧样品室的门，否则可能会影响抽真空的效果；

　　(2) 调整样品的位置：

　　长按鼠标中键即显示指向箭头，向上拖动箭头升高样品台至10mm处， 点击屏幕右侧coordinates将Z轴锁死；(操作熟练者也可以直接输入样品坐标，新手不建议因为对位置判断不准确可能会撞坏镜头)

　　(3) 抽真空：

　　点击PUMP抽真空至<10-3Pa(真空度由仪器性能决定)；

　　(4) 发射电子束：

　　待真空度满足要求后点击Beam on 加高压打电子束至样品表面；

　　(5) 观察：

　　v模式选择：SE(二次电子)和BSE(背散射电子)是扫描电镜成像的基础信号，扫描电镜提供二次电子(SE)和背散射电子(BSE)两种模式供使用者选择，二者区别是：二次电子能量低，主要反映试样表面厚度为50~100Å的形貌特征，背散射电子比二次电子能量高，分辨率差，背散射电子的信号强度随原子序数的增大而增强，背散射电子反映试样表面50-200nm深度的试样的成分分布形貌，使用者在选择时可以根据样品特征选择适合的拍照模式；

　　调焦：使用鼠标右键在高倍下调焦，调焦过程中先大幅度调节确定调整方向，然后微调获得最清晰的像；

　　改善图片质量：可以通过点击Stigmator进行色散校正，Beam shift进行光束漂移校正以及调对比度和亮度获得符合要求的照片；

　　拍照：点击Image Acqusition进行拍照，低倍下看全貌，高倍下看细节，拍照时可以设置拍照时间，建议低倍下可以快速拍，高倍下拍照速度过快会影响图片质量，将照片命名好并保存在自己想要的位置；

　　(6) 取样：

　　点击Beam on 关闭电子束；

　　解锁Z轴，将样品台调至原位，可点击Stage-home stage自动归位，也可手动拖动鼠标中键调节；

　　点击Vent放气后取样，取样后点击PUMP抽真空至<10-3Pa保证样品室处于真空状态；