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国产电镜钨灯丝扫描电子显微镜SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，助您在显微成像的世界中尽情探索。
产品特点（*为选配件）
钨灯丝扫描电子显微镜特色功能
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
应用案例
| 型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
|---|---|---|---|---|
| 电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 | ||
| 分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | ||
| 4 nm @ 30 kV（BSE） | ||||
| 8 nm @ 3 kV（SE） | ||||
| *低真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | |||
| 放大倍率 | 1-300,000x（底片倍率） | |||
| 1-1000,000x（屏幕倍） | ||||
| 加速电压 | 0.2 kV～30 kV | |||
| 成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器（ETD） | ||
| 背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
| 图像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
| 真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa | |
| 低真空 | 5～1000 Pa | |||
| 控制方式 | 全自动控制 | |||
| 涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
| 机械泵 | 200 L/min （50 Hz） | |||
| 样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
| 样品仓内监控 | ||||
| 样品台配置 | 三轴自动 | 五轴自动 | ||
| 行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
| Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
| Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
| / | R: 360° | |||
| / | T: -10°～ +90° | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | ||
| 操作系统 | Windows | |||
| 导航 | 光学导航、手势快速导航 | |||
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
| 特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件） | |||
| 安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm | ||
| 温度 | 20 ℃～25 ℃ | |||
| 湿度 | ≤ 50 % | |||
| 电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA | |||
