选择合适的系统。选择低温等离子灭菌系统时，要考虑其容量、耐压能力、清洁程度等因素，以满足灭菌需求。

确保灭菌物品的适宜性。低温等离子灭菌适用于多种材质的物品，如塑料、玻璃、金属等。但特殊物品，如蛋白质、生物制剂等，可能需要特殊处理。

进行灭菌前的准备工作。在灭菌前，清洁物品以去除表面污物和细菌。物品需封装在适当的包装中，保持其清洁和无菌状态。同时，检查并确保灭菌系统的正常运行，包括真空度和温度控制。

正确操作。将灭菌物品放置在灭菌室中，设定好灭菌时间和温度。启动等离子体发生器，将气体转变为等离子体，产生的活性物质和电子能够杀灭微生物。在整个过程中，确保灭菌参数的准确性和稳定性。

进行后续处理。灭菌完成后，需要对物品进行恢复处理，如恢复包装、使用灭菌剂中和等，以保持其无菌状态。

注意安全。过氧化氢具有强氧化性和爆炸性，操作时需穿戴防护服和使用安全设备。注意灭菌室内的氧气含量。

物品的干燥和包装。灭菌前物品应充分干燥。使用专用包装材料与容器，且包装材料不应含植物性纤维材质，如纸、海绵、棉布、木质类、油类、粉剂类等。

灭菌器的安装和使用。灭菌器应安装在手术洁净区，并与四周墙体保持足够距离。带盲端的细长导管、长度大于2m或内径小于1mm的管腔类器械、植物纤维制品、液体、油剂及粉末等不适合使用等离子体低温过氧化氢灭菌器。

卡匣的处理。使用特定品牌的低温等离子灭菌器时，不可拆卸卡匣，用完后按照医院固体废弃物处理办法处理。