1. 真空阶段：首先，通过真空泵抽出灭菌室内的冷空气，使室内处于负压状态。这一步骤是为了排除器械内的空气以及微孔中的空气，为后续的蒸汽穿透做准备。

2. 预热阶段：达到一定的真空度后，开始通入蒸汽对器械进行预热。预热有助于提高器械表面温度，并为接下来的高温蒸汽灭菌做准备。

3. 脉动阶段：在真空和蒸汽的交替作用下，通过反复的真空和蒸汽注入，排出器械内部的冷空气，并使高温蒸汽深入器械内部结构，达到灭菌目的。

4. 灭菌阶段：在器械内部空气被排出并充满饱和蒸汽后，灭菌柜内的温度和压力会升高到一定水平（通常为121-134℃的温度和约2bar的压力），并保持一段时间（通常为数分钟至半小时不等），以确保所有微生物，包括芽孢，被有效杀灭。

5. 干燥阶段：灭菌完成后，通过真空泵抽出蒸汽并使用干燥剂或热交换器降低湿度，完成干燥过程，避免微生物再次污染。

整个过程通过电脑控制，确保灭菌、物品干燥，并且总灭菌时间短。