1. 灭菌箱体：这是环氧乙烷灭菌器的主体部分，通常由内胆、外壳和管道组成。内胆用于容纳待灭菌的物品，外壳则起到保护和支撑的作用，而管道则用于环氧乙烷的流通和排放。

2. 加热系统：包括加热带和温控器，用于提供和调节灭菌所需的温度。加热带负责产生热量，而温控器则根据预设的温度范围来控制加热带的工作状态。

3. 真空系统：由真空泵、控制阀、过滤器和抽真空管道组成，用于在灭菌过程中创建和控制真空环境。这有助于环氧乙烷气体更好地渗透到物品中，从而更有效地杀灭微生物。

4. 加药及气化装置：包括手动阀门、温度检测、气化加热系统和气化室。这一系统负责将液态环氧乙烷转化为气态，并通过管道输送到灭菌箱体中。

5. 残气处理系统：用于处理灭菌后残留在箱体中的环氧乙烷气体，确保操作环境的安全。

6. 监测和控制系统：由温度传感器、湿度传感器、压力传感器以及微电脑控制器、工控触摸屏、按钮等控制电气元件组成。这些传感器和控制器能够实时监测灭菌过程中的温度、湿度和压力等参数，并根据预设的程序来控制灭菌器的运行。

此外，环氧乙烷灭菌器还可能包括辅助机架(柜)、密封装置等其他组成部分，这些部分共同保证了设备的正常运行和灭菌效果。