*BROOKS流量控制器SLA5853

宽FS流量范围，气体的测量和控制，<3ccm到2500 lpm（N2当量）

精度：高达1200 lpm：±1.0%（20％-100％FS）1.0％±0.2％FS（低于20％F??S）

1200-2500 lpm：±1％FS包括线性度

业界*传感器的稳定性，长期漂移性能，每年< 0.2％

通过减少维护和消除周期调整，增加系统的吞吐量

可达10个可选择校正曲线存储

弹性过程连接选项符合ANSI / ISA SP-76标准

简化了安装和维护过程，工作更加有效率

控制响应：

软启动可用于定制MFC性能，工艺要求。

专有自适应阀控制，这保证了过程压力的意外变化不会导致流量从设定值偏离

Brooks Instruments是专注于提供压力测量仪器的制造商，成立于1946年，总部位于美国宾夕法尼亚州，面积达到28000平方英尺。现在，公司分设了多个不同的机构，提供更加细致专业的仪器产品。本着为市场负责的原则，其一直坚持着在质量把控方面一丝不苟的态度，坚决生产出高质量、高度、使用寿命长的专业仪器。产品可用于医疗、水、化学、实验室、气体、半导体、太阳能、电子等行业。

*BROOKS流量控制器SLA5853

流量范围：FS范围100-2500 lpm

重复性：±0.20％

温度敏感性

零：每摄氏度小于0.05％FS

跨度：每摄氏度小于0.05％FS

质量流量控制器

SLA5850, SLA5851, SLA5853

质量流量计

SLA5860,SLA5861, SLA5863

其他产品型号

BROOKS控制器S124Y059AAA