激光测量平面度的方法

平面度，是属于形位公差中的一种，指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中，平面度的测量通常有：塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法（平晶干涉法）、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。

　　塞尺测量法，只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。

　　液平面法，基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。

　　激光平面干涉仪测量法，典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

　　水平仪测量法，广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。

　　打表测量法，典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。

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    该激光测量平面度的方法测量效率高，精度高，检测一个只要1-3秒，可以实现100%全检。