客户体验中心这套系统附件多样、扩展口丰富、功能齐备，可以实现：

• 直径4寸6寸8寸的晶圆镜面反射和透射自动多点测量

• 根据ASTM/SEMI MF1391标准，进行室温下硅晶圆中代位碳原子含量分析

• 根据ASTM/SEMI MF1188标准，进行室温下硅晶圆中间隙氧含量分析

• 同质、异质外延层厚度分析，专业的拟合分析软件，可用于亚微米量级至毫米量级单层、多层外延层厚度分析

• 磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷含量定量分析

• SiN等离子层和Si-O基钝化层等膜层分析

   SiC同质外延厚度  

诚挚欢迎各位老师的莅临、参观、试用、体验与指导！