FEI/赛默飞 品牌
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飞秒激光PFIB提供较快的材料去除率和较高的切割面质量,是毫米尺度范围纳米分辨率下较快的高质量亚表面和三维表征设备。
飞秒激光PFIB
大体积:2000×2000×1000μm3
大束流:~1mA(等效于离子束电流)
切割束流:74μA
束斑尺寸:15μm
激光集成:3束(SEM/PFIB/laser)*集成在仓室中,并具有相同的重合点,
实现可重复的切割位置和3D表征。
一次谐波:波长1030纳米(红外),,脉冲持续时间<280fs
二次谐波:波长515纳米(绿),脉冲持续时间<300fs
电子光学:
☆ 三束重合点 WD=4mm(与SEM/FIB相同)
☆ 可变物镜(电动)
☆ 极化:水平/垂直
☆ 脉冲频率: 1kHz~1MHz
☆ 束流位置精度:<250nm
保护挡板:自动SEM/PFIB保护挡板
软件:
☆ 激光控制软件
☆ 激光三维连续切片工作流程
☆ EBSD激光三维连续切片工作流程
☆ 激光编译
安全性:连锁激光器外壳(一级安全)