质量流量控制技术，未有的过程精度

为真正实现对每个过程的控制，用户必须准确测量进行中的过程 — 范围涉及馈线、仓室等每一处 — 然后利用所得到的实时信息确全程准确按照目标执行并达到目标产率。

作为一家在液体准确测量与控制方面*的企业，布鲁克斯仪器数十年来不断坚持创新热质量流量技术，推出新产品并不断提升现有系统性能以突破现有热质量流量技术在准确性、响应速度、精度和重现性方面的限制。

布鲁克斯质量流量设备在各国得到广泛应用的关键原因：

• 拥有业内种类齐全的产品系列可满足各种应用需求
• 创新型 MultiFlo™ 技术可使一台设备完成气体类型和量程的切换工作并且无需从系统中拆除设备，同时还能够提升过程气体的测量准确性
• 产品范围全面，包括弹性体密封和金属密封选件
• 超高纯度设备，专为满足薄膜、半导体以及其他高科技行业需求而设计

关键应用

• 热处理、切割等其他热过程
• 半导体和 LED 生产工具
• 薄膜淀积系统
• 用于生物制药的生物反应器
• 石化和化工气体和液体试验工厂
• 吹扫气体、过程分析和分析用流量测定