电晕放电法臭氧发生器的原理

   电晕放电合成臭氧是目前上使用多的臭氧制备技术，该技术能构使臭氧产率达到每千克500毫克以上。电晕放电法(无声放电或辉光发电)是指将干燥含氧气体通过电晕放电区域以产生臭氧的方法。通常使用的原料气有：氧气、空气和含有氮、二氧化碳的含氧混合气，也许还有其他一些惰性稀释气体。产生臭氧的机理是：用高速电子对氧气进行轰击，使之分解为氧原子。

    高速度的电子拥有足够的动能(6~7eV)，随后会与三体碰撞反应生成臭氧。另外，电晕内的气体处于高温条件下，会促进臭氧分解反应，因此净臭氧产生或出口气体组成就是形成和分解臭氧所有反应的总和。度的变化取决于许多因素，包括：原料气体的氧气含量和温度，它含有的污染物，达到的臭氧浓度，电晕中的功率密度，冷却水的温度和流量以及冷却系统的效率。这都对实际的、经济的臭氧发生器和系统的设计产生了影响。