臭氧发生器氧气源系统：是指一套提供符合臭氧产生要求的原料氧气的设备，将一定度的氧气送入臭氧发生器产生臭氧，一般有现场制氧和液态氧两种方式。

现场制氧：现场制氧即变压吸附制氧设备，是以空气为原料，以沸石分子筛为吸附剂，利用变压吸附原理，即加压吸附，常压（PSA）或真空（VSA或VPSA）解吸两种方式制取氧气的设备。在一定的压力下，利用空气中氧、氮在沸石分子筛表面的吸附量的差异，即沸石分子筛对氮的扩散吸附远大于氧，在一定时间内氮在吸附相富集，氧在气体相富集，从而实现氧氮分离。

液态氧系统是随着制氧技术的不断提高以及氧气作为工业产品被大规模使用，经低温深冷空分装置分离出的液态氧被作为商品直接从生产厂家购入，使用厂家将液氧汽化处理后送入臭氧发生器的装置，包括液氧储槽、汽化器、减压装置、热交换器等装置。