开启电源，启动设备。

在一般环境下，让真空泵运行一段时间（例如10分钟）后打开设备的检测开关。此时，如果能看到微弱的暗紫色光，且屏幕显示的数值接近标定数值，那么设备就可以开始进行测量。

如果此时测量未启动，可以尝试用手指堵住探头进气口（但时间不能超过10秒）。如果还未启动测量，可以等待一段时间后再次尝试。

设备启动后，会自动进行校准。如果在设定的时间段内（例如60秒）未取到零点，可以通过操作取消键进行零点的取定。

当仪器的基数值稳定后，将探头放置到检测点。如果SF6气体存在泄露，那么读数会增大。

在整个过程中，SF6气体检漏仪通过其特定的检测原理（如红外线吸收原理或负电晕捕获原理）来识别SF6气体的泄露情况。当SF6气体泄漏时，泄漏口处的气体会被仪器检测到，并转化为可观察的信号（如声音、光或数值变化），从而帮助用户定位和识别泄漏点。