magnescale激光尺的特点及运用

激光尺度的分辨率不仅要超越纳米尺度，还要超越皮尺度。符合客户要求的分辨率的开发速度就像摩尔定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和稳定性支持先进的测量和定位控制。激光标尺在需要高精度和高分辨率的领域中不可少，例如下一代半导体制造和相机镜头模具加工。此外，我们通过使用 Z 传感器将测量目标的范围从 1D 扩展到 2D，再到 3D，并开发出具有高角度精度的编码器，从而不断预测需求。

*摩尔定律与半导体芯片的集成密度相关的定律，它规定密度每隔一到两年就会翻一番。1965 年，英特尔的创始人之一戈登·摩尔宣布了这一经验法则。

激光尺的特点

• 光栅干涉尺

  由于采用了自主研发的光栅干涉仪作为检测原理，实现了不受温度、气压、空气湍流影响的测量和控制。

• 全息
  标尺

  由于标尺以全息格式而不是绘图格式制作，因此可以获得具有良好线性度的输出信号。

• 优秀的插补处理技术

  使用我们的插值电路和校正技术可以获得出色的插值精度。

应用

• 

  超精密载物台（真空兼容）

• 

  表面粗糙度轮廓测量仪

• 

  半导体制造检测设备

• 

  非接触式精细形状测量

• 

  异形磨床/导光板加工机

• 

  非球面加工机

相关产品介绍

• 系列

• 规格

• 类型名称、材料

• BS系列

  最高分辨率下午 2.1 点
  信号波长138纳米
  低噪声下午4点
  有效长度
  低膨胀玻璃420 毫米
  苏打玻璃960mm
  热膨胀系数
  低膨胀玻璃-0.7× 10-6 /℃
  苏打玻璃8× 10-6 /°C
  最大响应速度400毫米/秒

  透射式超高分辨率
  激光标尺

  BS78、BS65
  刻度材料：低膨胀玻璃 (BS78)
  碱板玻璃（BS65）

• BH系列

  最高分辨率下午 3.8 点
  信号波长250 纳米
  有效长度640 毫米
  热膨胀系数
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  无碱玻璃3.7× 10-6 /°C
  最大响应速度1,800 毫米/秒

  反射式超高分辨率
  激光标尺

  BH25
  刻度材料：零玻璃
  无碱玻璃

• BL系列

  最高分辨率下午 6.1 点
  信号波长400纳米
  有效长度570mm
  速度
  连接 BD700 时3,000 毫米/秒
  模拟输出5,000 mm/s
  热膨胀系数
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  无碱玻璃3.7× 10-6 /°C

  反射式高速
  激光标尺

  BL50H
  刻度材料：零玻璃
  无碱玻璃

• BL系列

  最高分辨率10纳米
  信号波长400纳米
  有效长度
  低膨胀玻璃420 毫米
  苏打玻璃1060 毫米
  热膨胀系数
  低膨胀玻璃-0.7× 10-6 /℃
  苏打玻璃8× 10-6 /°C
  最大响应速度3,000 毫米/秒

  透射式高速
  激光尺

  BL57
  刻度材料：低膨胀玻璃
  苏打玻璃

• BH系列

  最高分辨率1.5 拉德
  信号波长250 纳米

  反射式超高分辨率
  激光标尺

  BH20
  刻度材料：白板玻璃