日本seisen半导体气体过滤器产品分析
时间：2023-02-07 阅读：903
日本seisen半导体气体过滤器产品分析
NASclean®是将微米级不锈钢短纤维（SUS316L）烧结而成的薄层金属膜过滤器。我们通过从过滤介质（不锈钢短纤维）到最终产品的一体化生产，为半导体、平板显示器、太阳能电池板等生产过程中使用的气体过滤做出贡献。
用于工艺气体
使用不锈钢短纤维的金属膜过滤器。
压力损失小，颗粒去除性能高。
适用于100SLM以下的流量，可用于各种工艺气体。
用于工艺气体管线的小流量过滤器 (186KB)
用于散装气体
过滤介质的褶皱形状即使在高流量下也能实现低压损失。
高温烘烤是可能的，因为它是全金属的。
支持高达3000Nm 3 /hr的大流量。
用于散装气体管线的大流量过滤器 (178KB)
用于设备保护
MFC、阀门、调节器等设备保护过滤器
可根据使用条件选择低压型或高压型。
可安装在现有管道上。
管式高压超精密过滤器 (199KB)
低压用圆盘式超精密过滤器 (182KB)
用于 IGS 面板
与集成气体面板过滤器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。
通过采用褶皱介质实现小型化。
采用机械密封，介质部分为无焊缝结构。
用于集成气体面板的 IGS 过滤器 (202KB)
用于扩散器
使用褶皱介质可实现高速排气。
通过防止颗粒卷起有助于提高产品产量。
可根据安装空间进行设计。
用于常压恢复的高速排气过滤器 (189KB)