超痕量水分仪在半导体制造前端工艺上的运用

超微量水分计“FalconTrace”采用球型SAW传感器，可定量测量工业气体和天然气中所含的微量水分子。

响应速度极快，可以实时监测水分含量的变化，还可以测量水分含量和背景气体成分分析两项。可以精确测量气体中的水分浓度，低至 1 ppb（十亿分之一）水平。

介绍示例/应用

产品阵容

响应速度极快，可以在几秒钟内监控水分含量的变化，这对于稳定半导体和二次电池制造过程中的产品产量和质量非常有用。
无需重新配置每种背景气体，当天然气等成分出现波动时，可以同时检测。另一个主要优点是传感器材料是水晶球，使其耐腐蚀、重量轻且易于携带。