用于调查附着异物和落尘的 “落尘计数器”介绍
时间：2024-02-01 阅读：609
用于调查附着异物和落尘的 “落尘计数器”介绍
一种特殊的测量装置，可以测量落尘而不是浮尘。
对10μm以上的粗颗粒进行分类和计数。
*这是与“粗颗粒计数器”不同的测量装置。
您有这些问题吗？
即使在无尘室中工作，异物的量也没有减少。
虽然它是使用粒子计数器进行管理的，但不可能将其与缺陷关联起来。
我想创造一个干净的环境，但不知道如何管理。
我们很难处理从衣服等引入的异物。
通过测量落下的灰尘而不是漂浮的灰尘，可以采取针对附着异物的对策！
如果您想减少产品上附着的异物量，则应使用落尘计数器而不是颗粒计数器进行测量。
原因是：
① 导致附着异物的粗颗粒较大，范围为 10 μm 至 100 μm，无法用颗粒计数器测量。
② 大颗粒不会漂浮在空气中，而是沉降并成为落尘。
上面提到了两个。
此外，ISO14644-17自2021年2月起颁布，可以直接使用引起缺陷的粗颗粒作为管理指标。（点击这里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之间的关系）
因此，通过测量落下的灰尘而不是空气中微小的漂浮灰尘，可以管理附着的异物。
什么是落尘计数器？
这是一种特殊的测量装置，可以测量掉落的粗颗粒而不是漂浮的灰尘。
利用样品收集板（4英寸硅片），利用粗颗粒的沉降特性，对下落的10μm以上的粗颗粒进行分级计数。
它可以在任何可以放置硅晶圆的地方进行评估。
*硅晶片：圆盘状样品板，是表面平整度和耐热性优异的半导体基板。
本机是专门利用硅片样品对10μm至100μm粗颗粒进行分类和计数的测量设备。
对于头发等100μm以上的异物，由于其形状和重量，不适合使用硅片作为样品。
建议使用“DUSCAR®100 BLACK”来调查较大的异物。
落尘计数器阵容
| DTSP10-02 | DTSP10-03 | ||
|---|---|---|---|
| 最小可测量粒径 | 10μm | 10μm | |
| 粒度分级 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm 可在11～99μm*3范围内任意设定值 | |
| 兼容晶圆尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸*4) |
| 最大测量面积 | φ80mm | φ80mm | φ30mm |
| 修剪功能 | 是的 | 是的 | 没有任何 |
| 显示切换 | 没有任何 | 有（可单独显示） | |
*3) 任意分类设定的阈值是从校准曲线中获得的值，无法保证计数效率。
*4) 仅在 4 英寸区域内保证计数效率，对于 2 英寸区域无法保证计数效率，计数效率受到限制。
| ▼DTSP10-02 | ▼DTSP10-03 |
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