半导体清洗设备在线使用的ECN型化学液体加热器介绍

用于半导体化学清洗设备的在线使用

ECN型化学液体加热加热器

高纯度制成
● 所有接液部件均采用 PFA
● 无杂质洗脱
● 使用低温加热器时化学品不会变质
● 即使使用碱性化学品也不会变质

可靠性
● 最大工作压力：0.4MPa
● 最高工作温度：标准产品为80℃，特殊规格可生产至120℃。
● 内置过热报警传感器。
● 停电等突然关机时，温升约10℃
　　。高温下安全使用
● 内置漏水传感器
● 耐流量波动和冲击

维护方便
● 采用低温加热器，因此使用寿命为半性，无需更换加热器
● 非常紧凑，易于安装安装
● 电气控制 有效利用现有设施