Excimer UVO3 清洁重整器 6 英寸兼容桌面型号

准分子UVO3系统桌面型

台式型号：E172 -152

应用实例

• 电子显微镜样品的预处理

• 清洁样品和夹具

• 提高样品表面的润湿性、亲水性和亲和力

• 提高接合面的附着力

• 表面改性

• 清洗晶圆和玻璃表面后，分解残留有机物并清洗

• 提高涂覆前以及涂覆晶圆和玻璃表面的均匀性

特征

• 兼容工作尺寸 6” (152mm)

• 载物台传输准分子UV扫描照射法

• 工艺参数（照射速度、照射次数、照射距离）

• 可选工艺参数（N2 吹扫、加热阶段）

• 配备臭氧消减处理装置

• 波长172nm Xe准分子紫外灯 利用光化学反应在室温下进行短时间精密加工

• 市电，仅限 AC100V 电源

• 门联锁设备

• 节省空间的桌面型号

• 不使用汞灯

通过简单的基本设计实现高工艺性能。

使用准分子UV光源进行光化学反应表面处理，由于光源的特性，照射物体的温度不易升高，使得可以对容易受热影响的物体进行低温表面处理，例如薄膜材料。此外，与等离子体等物理表面处理不同，光化学反应的特点是加工精度高，不易对工件造成损坏。

无需真空泵，内置臭氧去除装置

基本规格

紧凑型准分子172nm紫外光源

型号：E500-172-110

通过简单的系统结构实现低成本和高性能。可以立即打开和关闭。风冷准分子灯是研究和开发的理想选择。使用准分子UV灯的光学表面处理非常适合薄膜材料等容易受热影响的物体的精密低温表面处理，因为由于准分子灯的特性，工件的温度不易升高。

基本规格