适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计AFW-100W原理分析
时间：2024-11-25 阅读：43
适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计AFW-100W原理分析
这是配备光谱仪的标准型号，非常适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计。可以进行非接触式测量，因此您不必注意涂层工作表面。
它涵盖了广泛的测量波长和可测量的薄膜厚度。
可测量波长：380nm～1050nm
可测量膜厚：100nm～60μm
反射分光膜厚计AFW-100W
反射分光式膜厚计测量原理
当光线照射在透明薄膜上时，在薄膜表面反射的光（R1）与在薄膜内部折射并在基材表面反射的光（R2）重叠，导致光线增强或减弱。
这种现象称为“光干涉” 。当光的相位匹配时，强度增加，而当相位偏移时，强度减小。
右图是“光干涉”的图像。 “反射分光膜厚计”是通过分析该光的干涉（波长）来测量膜厚的方法。
计算理论
C/F（曲线拟合）
求使测量反射率与理论反射率之差的平方最小的膜厚值。
推荐在波纹数为3个以下时使用（膜厚约1μm）。
FFT（快速傅里叶变换）
通过FFT计算确定某一波长宽度内表示膜厚的干涉波形的数量，并由此导出一个周期的波长宽度。
建议在有3个或更多波纹时使用（膜厚约1μm）。
| 模型 | AFW-100W |
| 目的 | 一般膜厚用 |
| 设备配置 | 单元主体、测量台、分支光纤（1.5m）、PC、膜厚测量样品 |
| 测量波长范围 | 380nm～1050nm |
| 膜厚测量范围 | 100nm至1μm（曲线拟合法） |
| 1μm～60μm（FFT法） | |
| 测量重复性 | 0.2%至1%（取决于膜质量） |
| 测量光斑直径 | 约7毫米 |
| 光源 | 12V-50W 卤素灯 |
| 测量理论 | 曲线拟合法/FFT法 |
| 外形尺寸（毫米） | 机身：W230 x D230 x H135 |
| 测量台：W150 x D150 x H115 | |
| 大约重量 | 5.5kg *不包括电脑 |
| 公用事业 | 交流100V 50/60Hz |
| 消耗品 | 卤素灯 |