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晶圆抛光晶片抛光过程中旋转工作台的平面度检测设备推荐

时间:2024-12-11      阅读:90

晶圆抛光晶片抛光过程中旋转工作台的平面度检测设备推荐

在半导体制造设备的晶片抛光过程中,需要保持装有晶片的上板和铺有抛光布的旋转工作台(下板)的平面度。如果出现问题,晶圆就会厚度不均匀,不平整,无法进行均匀的抛光。此外,曝光期间图像也会失焦。

晶圆的平整度对于后续的曝光工艺至关重要,因此在抛光过程中必须保持平整。

我们的数字水准仪用于保证上下平台的平整度。

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有线2轴精密数字水平仪SELN-001B

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这款 2 轴数字水平仪(有线)是一款高精度且轻便的水平仪。与普通水平仪相比,它可以数字化显示,使现场调整更加容易。此外,由于显示器和水平仪通过电线连接,因此可以从远处进行测量。由于它重量轻,因此还可以测量精细区域,例如处理晶圆的区域。监视器屏幕上将显示气泡,您可以像查看气泡水平仪一样进行调整。由于它是数字显示的,操作员之间的读数没有变化。


特征

01水平X轴和Y轴的角度精度为±0.001deg(17.5μ/m)。

02在垂直距离较窄的地方进行水平观察也可以!

在垂直距离较窄的地方进行水平观察也可以!

03即时数字测量判断使标准化工人标准成为可能。

042轴同时调整可减少调整工作时间。

05通过设定可接受的角度范围,即使是初学者也可以轻松调节水平! !

监控详情

 

规格

物品
内容
传感器部分线性角X方向±0.3度 Y方向±0.3度
测量分辨率0.0002度
零点重复性±0.001度或更小
响应速度50 毫秒或更短
工作温度-10℃~+50℃
主体微电脑32位
模数部分14位
测量范围±0.3度
A/D分辨率0.000025度
显示单元0.0001度
通过范围设定范围0.0001度
量程切换0.01/ 0.001/ 0.0001
超过显示0.3度以上
功能传感器连接数1通道
显示部分4.3英寸彩色液晶触摸屏

480×272点
电源
专用AC适配器DC6V/2A

4 节 AA 电池(1.5V)
外形尺寸监视器宽96×深36×高145毫米
传感器(SUS底座)φ50×H19毫米
电缆2米
重量监视器392克
传感器70克
配件
4 节 AAA 电池(1.5V)

专用AC适配器DC6V/2A

操作说明





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