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氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性

时间:2024-12-18      阅读:67

氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性

半导体行业是一个全球性的巨大行业,每年都在持续增长,这意味着对高纯度气体的需求将随之增长。


拥有可靠的高纯度气体供应对于半导体制造至关重要,尤其是在智能手机和自动驾驶汽车等先进技术方面。
生产集成电路的过程很复杂,在所有阶段都需要 30 多种不同的气体,这使得使用的气体范围成为任何行业中广泛的气体之一。
气体是半导体制造的重要组成部分,因为气体可以产生塑造半导体电气特性所需的化学反应。由于其复杂性,在制造过程的每个阶段使用的气体都需要精确和准确,以正确配置半导体。


如您所知,氧气是一种氧化剂,因此它对于产生沉积反应至关重要。它用于生长用于工艺中各种元素的氧化硅层,例如扩散掩模。


当使用氧气进行半导体制造时,气体必须是超高纯度的,以防止任何杂质影响器件的生产和性能。
在蚀刻过程中,氧气也用于去除产生的任何额外材料废料。它也可以用来使任何蚀刻图案。
最后,氧气还有助于通过可能改变产品质量的氧化反应中和反应性气体。因此,与氮气类似,氧气也有助于确保不会发生任何污染。

便携式氧气浓度计EZY系列

检测部分采用稳定氧化锆陶瓷的便携式氧气计。 这是一个集成传感器、控制单元、流量计、泵和过滤器。

image.png

特征

  • 1.与先前型号(TB-FI系列)相比重量减轻
    (EZY:4.3kg/先前型号:6.0kg)

  • 2.根据用途可选择颜色变化(红、绿、蓝)

  • 3.平滑的温度控制可实现稳定的测量(减少波动)

  • 4.传感器多层保护,耐腐蚀,使用寿命长(保修2年)

规格

模型EZY-1-GEZY-1-REZY-1-BEZY-2-GEZY-2-REZY-2-B
颜色绿色的红色的蓝色的绿色的红色的蓝色的
类型

无采样泵

带采样泵

原则氧化锆陶瓷电化学电池
作品SS盒、TB传感器、C-301控制单元、带针阀的流量计等。
测量范围1ppm~100% O2
展示%: 0~99.99%O2 ppm   : 0~ 9999ppmO2
输出4~20mADC(隔离) 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC(隔离,选其一)


RS-232C

继电器接点:3点(A接点),集电极开路输出:2点(以下可任意分配)

浓度报警:Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo(LCD 显示)

传感器异常(故障)报警:加热器、RTD断线(LCD显示)

预热完成信号

范围回复

接点输入远程校准变送输出(电压/电流) 保持远程量程切换
量程切换自动/手动/远程

初始设置

0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
样本吸取

样品压配合

内置泵抽吸

样品压力

高达 2 个大气压

漂移线性重复性


响应速度

管道连接

样品流速

样品温度

预热时间

电源

配件

±2%FS 以内/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以内,以较大者为准 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以内,以较大者为准


10秒内90%响应(如果向高浓度侧摆动)

RC1/4

0.2~2L/分钟

最高60℃

约20分钟

免费电源(85-260VAC)

电源线3m


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