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法兰型 | JIS / ISO / CF |
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泄漏量 | 外壳1 x 10 -11 Pa m 3 / s以下 阀座1 x 10 -10 Pa m 3 / s以下 |
使用面积 | 10 5〜10 -6 帕 |
阀杆密封 | 氟橡胶O形圈 |
口径 | 70-400(毫米) |
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电源规格 | 主电源AC200V(额定电流1.5A) 控制电源AC200V(额定电流0.2A) 接口电源DC24V (最大500mA) |
控制方式 | 交流伺服方式 |
主要成分 | SUS304 |