二合一超快SEM解决方案通过在FE枪和聚光透镜之间引入脉冲发生器，并利用皮秒级射频电激发电子束，从而实现了超高时间和空间分辨的扫描成像。此外，该解决方案通常还结合了飞秒激光泵浦样品联动技术，进一步增强了其性能。
 

　　核心特点：
 

　　百皮秒级射频电激发电子束：通过使用脉冲发生器，能够在皮秒级的时间内激发电子束，从而实现对样品的超快表征。
 

　　飞秒激光泵浦样品联动：结合飞秒激光技术，实现了对样品的快速、准确的联动分析。
 

　　超高时间和空间分辨：由于采用了上述技术，二合一超快SEM解决方案能够在保持原始扫描电镜光束质量的同时，实现超高时间和空间分辨的扫描成像。
 

　　保持原始固有空间分辨率：在电激发下，该解决方案能够保持SEM的原始固有空间分辨率，确保成像的清晰度和准确性。
 

　　二合一超快SEM解决方案在汽车、微电子、药品和医疗器械等行业具有广泛的应用前景。特别是在需要快速、准确地对样品进行清洁度分析、成分分析和微结构表征的场合，该解决方案能够显著提高工作效率和准确性。