非接触表面粗糙度仪测量表面粗糙度是通过不影响待测表面形貌间接反映待测表面信息的方法。这种方法的优点是测量装置检测到与待测表面直接接触的部分保护测量装置，同时避免直接接触测量装置引入的测量误差。

非接触表面粗糙度仪工作流程如下：

测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生纵向位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统，ARM芯片将采集的数据进行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器上读出，也可在打印机上输出，还可以与PC机进行通讯。

该设备可以用来测量精密加工零件（平面、圆柱等外表面）光洁度/粗糙度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线，镀层等深度。