菲佐干涉仪是干涉仪之一，常用于平面和球面的常规测量。它可用于测量平面、棱镜、透镜等光学部件，或轴承、密封面或抛光陶瓷等精密金属部件。可使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上配有高光学质量（λ/20）的基准平面。测试表面的反射与参考平面的反射发生干涉，产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。使用高分辨率 CCD 相机对条纹进行数字化处理。

                                                                                            规格

最大样品尺寸：≤ 100 毫米

参考光学镜组：可接受 任何标准卡口支架

精度： ≤ λ/20 PV

激光源：DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne 激光器

光束扩展器： 带针孔的 60 倍 显微镜物镜

准直透镜：焦距 500 毫米，直径 100 毫米的消色差透镜

对准 ： 基于相机

摄像头 1：300 万像素 CCD，分辨率可选

摄像头 2：500 万像素 CCD，分辨率可选

分析：使用 边缘分析软件（开放边缘和快速边缘）

重量：约 25 千克

电源：220 伏，50 赫兹

平移台： 带光学编码器的手动 线性平移台

行程和分辨率： 行程长度为 1200 毫米，分辨率为 2 微米

编码器输出：带 计算机接口和软件

光学设置

空间滤波器组件和正消色差透镜用于扩大和准直氦氖激光。准直透镜之后是固定的参考平面。光线从参考平面反射回来。在扩束器附近放置一个立方体分光镜，将反射光反射到变焦镜头和 CCD 上。其中一部分反射光落在用于对准模式的相机 1 上。来自测试样品的反射光也沿着相同的路径反射并相互干扰。