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真空等离子清洗机主要通过等离子体作用在材料表面后产生一系列物理及化学变化,利用等离子清洗机包含的活性粒子和高能射线,与表面有机污染物分子发生反应、碰撞,形成小分子挥发性物质,从表面移除来实现清洁效果。
- 工作原理 -
(1) 物理反应(Physical reaction):
主要是利用等离子体的粒子作为纯物理的撞击,把材料表面的原子打掉来清除了材料表面的污染物和刻蚀作用,将材料表面变粗糙,增加表面比和润湿性。
(2) 化学反应(Chemical reaction):
利用表面活化在材料表面产生新的活性基团,利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合,后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团,以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。
- 产品参数 -
系统标准配件 | |
设备尺寸 | 1105W*1488D*1842Hmm(2158mm带信号灯高度) |
水平极板 | 8层 |
电极板 | 402W*450Dmm |
气体流量控制器,2路工艺气体 | 0-300 ml/min |
真空测量 | 日本ulvac真空计 |
人机界面触摸屏 | SD自主研发 |
电极向距 | 48mm |
信号指示灯 | 3色带警报 |
真空泵 | 90m3/h双极油泵 |
系统电力&机械 | |
电源:AC380V,50/60Hz | 额定功率5000W |
系统重量(设备主机/真空泵) | <600Kg |
占地面积:设备主机 | 1805(W)×1988(D)×1842(H)mm |
射频电源 | |
射频电源频率 | 13.56MHz |
射频电源功率 | 1000W |
射频电源匹配器 | 全自动匹配,空气电容技术 |
设备*条件 | |
电源:AC380V,50/60Hz,三相五线 | 7.5KVA |
压缩空气要求 | 无水无油CDA 60~90psig |
抽风系统 | ≥2立方/分钟,中央尾气处理管道即可 |
系统环境温度要求 | ≤30℃(室温较好) |
工艺气体要求 | 15~20psig 99.996%或以上纯度; |
- 设备优势 -
> *电源:采用*高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。
> 全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。
> *放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。
> 封性的真空体设计:军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。
> 优质产品部件:产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能*。
> 超低清洗温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
> 精容数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量控。
> 适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,均匀清洗。