HITACHI扫描电镜特点：
 

　　*高分辨成像
 

　　日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下，也可获得高分辨的图像。
 

　　高衬度的低加速电压背散射图像
 

　　3D NAND截面观察;
 

　　在低加速电压条件下，背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
 

　　快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
 

　　由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像。
 

　　自动化功能*
 

　　EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
 

　　灵活的用户界面
 

　　原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。