三坐标测量机可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。它是在三维空间上通过采集点的三维坐标来评定物体几何形状，是集光、电、气、机械与计算机技术为一体的自动化坐标测量仪器，也是制造业中的重要检测设备。

一、工作台

花岗岩具有变形小、稳定性好、耐磨损、不生锈，且价格低廉、易于加工的特点。Mars系列三坐标测量机采用花岗岩来制造固定式的工作台，使机器具有承载能力强、装卸空间宽阔、便捷的优点。

二、导轨

三坐标测量机上使用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和气浮导轨，但常用的为滑动导轨和气浮导轨，滚动导轨应用较少，因为滚动导轨的耐磨性较差，刚度也较滑动导轨低。滑动导轨精度高，承载能力强，但摩擦阻力大，易磨损，低速运行时易产生爬行，也不易在高速下运行。

Mars系列三坐标测量机三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，使得机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力，具有精度高、摩擦力小、工作平稳等优点。

将被测零件放入允许的测量空间，三坐标测量机就能精确地测出被测零件表面的点在空间三个坐标位置的数值，然后将这些点的坐标数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据。

三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的有效方法之一。