通过对三维形貌的测量，能较为全面地评定表面质量的优劣，因为微观表面形貌直接影响着零件的技术性能评价，所以表面三维评定参数能更全面衡量零件表面质量，因此表面三维微观形貌的测量就越来越重要。而在三维微观测量领域中，特别是在如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，光学三维表面形貌仪的测量精度*高。中图仪器的SuperView W1光学三维表面形貌仪价格实惠，且测量精度可以达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

产品参数

技术指标

光学三维表面形貌仪也叫光学干涉仪，工作原理是光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学三维表面形貌仪价格实惠不说，基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。

如一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，而以白光干涉为原理的SuperView W1光学三维表面形貌仪，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。

通过中图仪器光学三维表面形貌仪对工件的三维形貌进行测量，进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性，最后可以才反过来通过指导加工、优化加工工艺，以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。