英福康INFICON宽范围真空计产品分类及产品特征
时间:2021-04-03 阅读:1647
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英福康INFICON宽范围真空计产品分类及产品特征
英福康INFICON宽范围真空计在紧凑型设计中提供了z越的精度和可靠性。四种物理技术涵盖了从超高真空到大气的整个真空范围。
INFICON Pirani技术可在中低真空范围内进行经济高效的测量。INFICON微型电容膜片技术可在低真空范围内进行j确测量,而热和冷电离技术可覆盖超高真空范围。每种测量技术都可以作为独立传感器使用,也可以与互补的测量技术结合使用,以在整个真空范围内实现z佳的性价比。
新型光学等离子规:INFICON Augent™光学等离子规是用于气体类型监测和总压真空测量的全新紧凑型智能解决方案。
新型对流增强皮拉尼真空计-高级系列:一体化对流增强皮拉尼真空计能在100 mbar至大气压范围内达到更高的准确度。
新型对流增强皮拉尼真空计-标准系列:PGE300对流增强皮拉尼真空计采用与PGE500对相同的传感器技术,以在100至1000 mbar的测量范围中达到相同的准确度。它内置了可降低成本的最重要功能。
新型对流增强皮拉尼真空计-被动真空计:对流增强皮拉尼真空计PGE050可在100 mbar至大气压范围内可达到更高准确度,适合在经典“被动真空计-控制器组合”中利用真空计传感器。和VGC08可以作为替代方案。
新型BAYARD ALPERT真空计头-被动:INFICON Bayard-Alpert无源真空计头BAG050,BAG051,BAG052和BAG053为与INFICON真空计控制器VGC083A和VGC083B配合使用而设计。关于相应控制器VGC083 A + B,请查看“真空计控制器及附件”一章
新型冷卤素倒磁控管真空计头-被动:INFICON冷卤素倒磁控管无源真空计头MAG050和MAG060设计为搭配INFICON真空计控制器VGC083 C使用。有关相应的控制器VGC083 C,请参见“真空计控制器及附件”一章
新型BAYARD ALPERT热电离真空计-标准:针对需要独立热电离真空计技术的应用,INFICON通过经济实用的标准双丝极解决方案,提供了一个Bayard-Alpert热电离真空计技术。
新型BA型真空计:对于只需要单独的热卤素真空测量的应用环境,INFICON提供单个BA热卤素的真空规管。
贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计:广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术
皮拉尼高压热离子真空计:在2 x 10 -6毫巴至大气压范围内提供准确的溅射过程压力控制的高重复性和再现性测量
贝阿德-阿尔珀特皮拉尼电容膜片真空计-TRIPLE GAUGE™:复合规管技术-包含3个真空计的装置可以准确测量从超高真空到1500毫巴的工作压力和基准压力
新型倒置磁控管皮拉尼真空计:新型双子座倒置磁控管真空计是所有真空测量应用(z利申请中)的动力源泉,主要测量范围为大气压到1x10 – 9毫巴。
反磁控管皮拉尼尼真空计:反磁控管和皮拉尼真空计原理组合可测量从大气压到5 x 10 -9毫巴的高真空压力
潘宁冷阴极电离真空计:这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量1 x 10 -2毫巴到低至1 x 10 -9毫巴的高真空压力。还有现场总线可供选择。
皮拉尼标准真空计:最简洁的皮拉尼真空计具有5 x 10 -4毫巴至大气压的高可靠测量范围
皮拉尼标准真空计-高级系列:简洁式皮拉尼真空计系列具有各种功能,包含场地总线选件,是5 x 10 -4毫巴至大气压范围内特定真空测量的理想之选。
皮拉尼电容膜片真空计:皮拉尼和电容膜片真空计的组合,测量范围为5 x 10 -4毫巴至大气压,在“接近大气压”范围时,测量更为j确。
ETHERCAT真空仪表:INFICON是第y家为真空机生产线提供EtherCAT接口的真空计供应商,其一种产品可以覆盖整个真空压力范围。
英福康INFICON公司是真空仪器、关键传感器技术和*工艺控制软件方面*的开发、制造与供应商,其产品广泛应用于半导体及相关工业以及其它真空行业。这些分析、测量和控制产品对于原始设备制造商和终端用户在复杂的半导体、平板显示器、磁和光学储存媒体与精密光学元件的制造方面是极为重要的。 英福康公司还为空调/制冷、紧急反应、保安和工业卫生市场提供必需的气体检漏和毒性化学物质分析等仪器和技术。