ALICAT 气体质量流量计

应用及案例 

●  大学/研究所           ●  泄漏检测
●  环境监测                ●  真空行业及镀膜
●  工业炉窑                ●  半  导  体
●  汽车制造                ●  光       伏
●  燃料电池                ●  计量校准
●  过程工艺气体测量

ALICAT 气体质量流量计

产品特色 

●  数字化产品

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等

●  可选高精度：优于0.5%读数

●  可测范围广，0.01~100%满量程

●  响应时间快，优于10 ms

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考背面

            一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量    程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

测量范围    0.01～100%满量程

最大显示流量    128 % 满量程

显 示 屏    带背光灯按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精    度    ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）精度升级部分见左下角

            ± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %读数额外误差

重 复 性    ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移    0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm（从校准压力开始）

响应时间    优于10 ms （与流量相关）  

预热时间    < 1 s

默认标况（STP）    25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ～ 95%，无冷凝

最大工作压力    1 MPa 表压（可选2 MPaG高压系列）

最di操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPa以上使用；

其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大进出口压差    0.5MPa

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；

                模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                     DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    9-24 VDC （如选4 - 20 mA或0-10VDC输出，须为12 - 24VDC）

供电电流    40mA，额外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC输出）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    质   302、303、304、316L不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）

精度升级

量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃（从 25 ℃开始）

± 0.01% 满量程 / Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃（从 25 ℃开始）

± 0.1 % 读数 / Atm（从校准压力开始）

选项配件

●  标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
内置30种气体可选
200:1量程可调比
NPT接头
可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保

●  可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围