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高精度铂电阻温度传感器
产品概述
高精度铂电阻温度探头采用行业的真空 PVD 沉积、 MEMS 精密加工等技术，已经完成 -70℃ ～ 1000℃宽温区传感器芯片国产化。主要技术指标达到进口产品水平，具备 MEMS 加工先进技术装备和工艺， 可以为客户提供 MEMS 工艺代加工和传感器芯片开发合作业务。可用于各类仪器仪表制造业和制造各种温 度传感器，更适合对温度测量精度要求比较高的科研领域和工业领域；铂电阻芯片可提供 100Ω、200Ω、 1000Ω 等阻值的元件。在高温下能够保持优良的稳定性，有良好的绝缘性，铂电阻温度范围 -70° C ～ 1000° C。
高精度铂电阻温度传感器产品特点
1. 可用于各类仪器仪表制造业和制造各种温度传感器，更适合对温度测量精度要求比较高的科研领域和工业领域；
2. 铂电阻芯片可提供100Ω、200Ω、1000Ω等阻值的元件；
3. 在高温下能够保持优良的稳定性，有良好的绝缘性，铂电阻温度范围是-70℃~1000℃；
4. 高性能和长寿命特性；
5. 引脚材料为铂铱丝；
6.1000℃50小时R（℃）的阻值漂移≤0.1％；
7.10至1000Hz的频率加速度≥40g。
高精度铂电阻温度传感器产品参数
产品尺寸 | 长4±0.2mm×宽2±0.2mm×厚1±0.2mm（可定制），引线长度5mm，直径：Φ0.25mm |
推荐工作电流 | 0.3~1mA（需考虑自热） |
响应时间 | 空气中≤0.5s |
引线材质 | 铂铱丝 |
绝缘电阻 | 100℃时大于 20MΩ |
引线拉拔强度 | ≥12N |
温度范围 | -70℃ ~ 1000℃。 |
高精度铂电阻温度传感器性能指标
标称阻值(0℃) | 型号 | 工作温度 | 温度系数 |
100Ω | PT100 | -70℃ ~ 1000℃ | 3850ppm/℃ |
200Ω | PT200 | -70℃ ~ 1000℃ | 3770ppm/℃ |
1000Ω | PT1000 | -70℃ ~ 1000℃ | 3850ppm/℃ |
性能偏差
等级 | 温度偏差 | 阻值偏差 | 温度系数偏差 |
| 1/10 B | ±0.03% | ±0.01% | ±1ppm/℃ |
| 1/3 B | ±0.10% | ±0.04% | ±4ppm/℃ |
A | ±0.15% | ±0.06% | ±6ppm/℃ |
B | ±0.30% | ±0.12% | ±12ppm/℃ |
2B | ±0.60% | ±0.24% | ±24ppm/℃ |
性能测试
产品经过 1000℃连续 50 小时加热后，测试 0℃阻值的结果见图1
公司产品与进口产品在相同测试条件下测得的温度数据见图2
1000℃/50小时老化试验Aging Test at 1000℃ for 50 Hours
烧结前Before heating 烧结后After heating
图1老化试验阻值变化
温度特性对比
公司产品 进口产品
图 2 产品性能对比试验
