决定显微镜性能的主要因素是显微镜的分辨率，也叫分辨本领或解像力。但是放大率、清晰度等物理量与显微镜的分辨本领有着密切关系。

显微镜是复杂的共轴光学系统。这个系统由光源、孔径光栏、聚光镜和物镜等主要成像要素所构成。目镜只不过是把物像直接放大并投影到屏幕(包括人类视网膜)上的光学部件而已.光源可能是非相干光源如日光、灯光，也可能是相干光源如点光源。

显微镜成像光路中的关键性成像部件是物镜。从光源到物镜前透镜之间的无数个平面，在物镜的后方均有其相对应的共扼平面。但是根据阿贝理论，显微镜里的物平面O与之相对应的共扼平面即像平面O‘和光源I.平面与之相对应的共扼I,‘平面，是成像系统中重要的两对平面。

在显微镜中孔径光栏所限定的入射光束的张角范围内，经过聚光镜直接变成照射标本的照明光源。孔径光栏平面上的光在物镜后焦面或在其附近成像。首先孔径光栏限定成像光束所必需的入射角.这就意味着显微镜下观察物体的适宜的亮度由此决定。其次来自标本的立体结构的不同平面上的成像光线也由此来决定。总之显微镜中的物像的适度反衬度和物像轮廓的清晰度由此来决定。

影响显微镜图像清晰度可以设法校正一种像差是像散。和透射电镜中一样，扫描电镜镜筒的下部也装有一个消像散器。应该认真调节消像器才能保证得到好的图像。如果像散量过大，消像散器的校正场已不足补偿其缺陷，就必须尽快清洗电镜的光路区，常用显微镜型号景深有多大尤其是本透镜和末光阑部分。