前言

科技是生产力，人才是资源。

在科技与人才双驱动的新时代，高等教育致力于提升人才培养质量，特别是培养理论研究、半导体设计、工艺流程及研发管理的复合型人才。

同惠电子依托其在微电子和半导体测试的经验，设计了微电子实验系统，将实践与测试理念融入教学，为实践教学提供了新方向。

一、微电子实验系统基本特点

1. 丰富的实验项目

微电子教学实验系统提供了多达9种实验项目，涵盖了微电子学、集成电路设计等方面。这些实验项目旨在帮助学生全面了解微电子学的基本原理和集成电路设计的方法。

2. 灵活的实验配置

系统采用模组化设计，允许各设备独立连接与操作，学生依据实验目标灵活选择设备，并在掌握原理后正确组装连接，此过程有效锻炼了其实践动手能力。同时，“积木式”布局结合宽敞的实验桌，实现了同一平台上的多样化实验同步进行，显著提升设备利用率并加速实验进程。

3. 实验设备

微电子教学实验系统采用了实验设备和技术，如产品：半导体CV特性测试仪、数字示波器、双通道数字源表、信号源等，这些设备可以为学生提供真实的现实微电子设计、制造及测试环境，有利于学生毕业后更快适应微电子行业环境。

4. 易于操作的学习平台

微电子教学实验系统采用了直观的操作界面和友好的人机交互设计，图文化教学使学生能够轻松地学习到微电子、集成电路、测试仪器的基本原理及实验操作。同时，实验台还提供了详细的实验步骤和故障排除指南，帮助学生解决实验过程中遇到的问题。

二、微电子教学实验系统总体方案

三、实验内容

1、 肖特基势垒特性及杂质的测量

本实验旨在让学生掌握肖特基二极管结构、原理、应用，及其整流特性和势垒电容。

2、电阻式传感器的工作原理与测量

本实验旨在让学生掌握各种不同电阻式传感器的工作原理，并掌握LCR测量阻抗的方式。

3、场效应晶体管直流参数测试

N沟道增强型MOSFET工作原理图

本实验旨在让学生更深入地了解MOSFET的工作原理，并掌握实验操作技能，为未来的研究和工作奠定基础。

4、PN结直流特性测试及PN结参数的变温测试

本实验旨在让学生深入了解晶体管的工作机制，掌握实验技能，并为未来的研究和工作打下坚实的基础。

5、双极型晶体管直流参数的测量

BJT基本结构与电路符号

本实验旨在让大家掌握双极型晶体管的基本结构及主要参数的定义，了解并利用源表进行双极型晶体管输入特性和输出特性曲线的测量方法，以及了解双极型晶体管输出特性的常见缺陷及其产生的原因。

6、MOS器件静态特性测试分析

MOSFET输出特性曲线

本实验旨在让大家掌握MOFFET饱和漏电流ldss、阈值电压Vth、跨导等静态参数的测量方法，以及了解测量MOSFET输出特性曲线的方法。

7、MOS器件CV特性测试

本实验旨在让学生了解场效应管的动态参数与寄生电容，熟悉动态参数中Ciss、Coss、Crss等的定义及危害，并掌握它们的测量方法和曲线扫描技巧。

8、MOS器件动态开关特性测试

本实验旨在让大家掌握MOSFET开启过程、开关时间定义、熟练掌握函数信号发生器和数字存储示波器的使用。

9、集成运放特性分析测试（上、下）

本实验旨在让大家了解集成电路的概念，熟悉集成运放放大器的结构，了解集成电路放大器中的各种参数概念，并掌握集成电路放大器的参数测量方法。

四、微电子教学实验系统仪器配置清单

五、微电子教学实验系统仪器技术参数

六、实验与课程

微电子教学实验系统支持下列实验及课程体系：

同惠深知，人才是国家发展的根本，而高素质、综合能力的科技人才更是推动科技进步与产业升级的关键力量。因此，同惠致力于通过TH300E微电子教学实验系统，为我国的教育事业添砖加瓦，助力培养出一代又一代的科技新星。