该设备由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。可用于石油、石化、冶金、化工、消防、燃气、环保、电力、通讯、造纸，印染、污水处理、食品酿造、科研、教育、国防。

  臭氧分析仪将样气通过内置泵及样气处理系统不断地供给光学平台。通过光学平台的紫外光束的强度与存在于样气中的臭氧浓度成反比，该信号被检测出来并被量化为相应的浓度通过显示系统显示。参考子系统通过校正气源浓度、探测器响应以及样气中干扰部分的变化保证了测量的高度稳定性。通过比较样气和参考源测量值实现了自校零和干扰去除，由于这些参考源、校零及干扰去除子系统的运行，实际上系统没有零漂或跨漂。所有操作均在前面板上。臭氧浓度及相关的压力、温度、流量等显示在安装于前面板的液晶显示器上。各种选购件及样气入口连接器、过滤器安装在后面板上，这样便于使用，易于更换。