热偶真空计

热偶真空计的规管由加热灯丝和热电偶组成。热电偶通常由铂铑或康铜-镍铬制成。热偶真空计利用热电偶的温度变化来测量压强的变化。当气体的压强降低时，热电偶接点的温度随热丝温度的升高而增大，从而热电偶的电动势也增大。通过测量热电偶的电动势变化，可以间接确定真空度的大小。

电离真空计

电离真空计是目前广泛使用的真空测量计，利用气体分子电离的原理进行真空度测量。根据气体电离源的不同，电离真空计分为热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。热阴极电离真空计包括普通型、超高真空型和低真空型。电离真空计的工作原理是通过发射极发射电子，经过加速极加速并收集电子，电子在加速极和收集极之间反复运动，并与气体分子发生碰撞，使气体分子电离产生正离子。通过测量正离子的电流大小，可以确定真空室中的气体压强。

对于真空镀膜机而言，采用电离真空计可以快速连续地测量待测气体的总压强，而且电离计规管体积小、易于连接。然而，需要注意的是，在高于10-1Pa的高压强下使用电离计会降低规管寿命甚至导致损坏，因此应避免在高压强下工作。此外，当真空系统暴露于大气环境或使用一段时间后，电离计规管的内表面和电极可能会吸附气体，影响真空测量的准确性，因此需要定期进行规管的除气处理。