青岛芯笙近期推出多款气体质量流量计和质量流量控制器产品，成功打通从MEMS芯片到流量检测仪表和算法的全链条核心技术，成为青岛市仅有的几家掌握MEMS核心芯片技术的高科技企业之一。

随着国家对国产仪器和半导体设备的重视和支持，国内分析仪器产业、半导体装备产业实现了快速发展。作为分析仪器和半导体装备的核心部件，气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主，国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计，MEMS气体质量流量计基于热传导原理对气体质量流量进行高精确测量，该类型产品不受温度和压力等环境参数影响。

青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。