用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长(或能量)分开，分别测量不同波长(或能量)的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。

　　X射线荧光光谱是一种常用的光谱技术，既可用于材料的组成成分分析，又可用于涂层和多层薄膜厚度的测量等。

　　X射线荧光光谱仪的操作注意事项

　　一、工作环境

　　一般情况下，X射线荧光光谱仪对使用环境没有什么特殊的要求，但由于X射线荧光光谱仪属于高精密仪器，为确保测试数值的准确性及延长仪器使用寿命，建议使用环境内温度保持在20±5℃、湿度低于70%，仪器供电电压稳定在220V±5V等。

　　二、仪器开机及关机顺序

　　X射线荧光光谱仪的开关机顺序，对延长仪器使用寿命也有着重要的影响，正确的操作能减少仪器故障的几率，X射线荧光光谱仪生产厂家提醒这里一般要注意以下两点：

　　1. 开机先开电源再开高压

　　2. 关机先关高压再关电源(高压关闭后5分钟再关闭电源，便于内部散热)

　　三、测试前准备

　　我们使用X射线荧光光谱仪进行测试之前要进行30分钟左右的预热，以便性能达到峰值，不要上来就测。在检测前还需要做好峰位矫正以保证测试准确性。

　　四、样品测试

　　一般企业的产线都不止一条，所需检测的产品镀层结构也比较多，在测试前，我们要注意：

　　1. 根据所测产品的镀层结构选择相对应的程式

　　2. 圆柱形的样品摆放应与接收器垂直放置

　　3. 不规则的L形产品需考虑探测器能量接收位置

　　4. 测试完成后再根据匹配值判定数据的准确性