气体质量流量计是基于热扩散原理的流量仪表。即是利用流体流过发物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量成一定比例关系。具体来说，该流量计的传感器有两只标准的RTD,一只用来做热源，一只用来测量流体温度，流体经过时，两者之间的温度差与流量的大小成非线性关系，该仪表就可以把这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

    利用热扩散原理制造的流量计有两种设计方法：一是基于恒温差原理；二是基于恒功率原理，基于共同的数据模型：P/?T=A+B(Q)N。其中：P---耗散功率，T---两个传感器之间的温差，Q---质量流量，N---指数系数，A,B是与气体的热性能有关的系数。

    恒温差原理：T保持不变，耗散功率P与流体的流量Q成指数函数递增的关系。

    恒功率原理：耗散功率不变，温度差?T与流体的流量Q成指数函数递减的关系。

    气体质量流量计广泛用于钢铁厂、焦化厂、石油、化工、热力、医疗、热电厂、环保等行业。气体质量流量计是真正的直接式质量流量计，用户不必对压力温度进行补偿。仪表无可动部件，压力损失小，量程比宽，精确度高、可靠性高，安装简单，操作方便。

    影响流量计的因素有很多，简单的说说常见的影响因素：

    （1）压力

    在加气机中使用的CMF测量的气体的压力不低于20MPa，压力远远大于大气压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。

    （2）温度

    用于加气机的CMF工作温度远低于室温，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。

    （3）流速

    压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体质量流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。