等离子清洗机

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

等离子电源频率一般有三种：40kHz及以下，13.56MHz，2.45GHz

40kHz及以下为中频电源，中频等离子体发生的反应为物理反应。中频等离子体（物理）清洗工艺是在反应腔体中加入氩气作为辅助处理的等离子体清洗；氩气本身是惰性气体，等离子体的氩气不和表面发生反应，而是通过离子轰击使表面清洁。以物理反应为主的等离子体清洗，也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性。中频等离子清洗机加入适当的反应气体，可以有效去除胶质或有机物残渣、做刻蚀等等。

13.56MHz为射频电源，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应。射频等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应。所以很适合用来处理一些娇嫩的材料。

为进一步满足客户的实验工艺需求，雷博科仪特推出型号为PT500/PT1000/PT3000实验型等离子清洗机。

PT500等离子清洗机

PT1000等离子清洗机

PT3000等离子清洗机

雷博科仪等离子清洗机具有如下特点：

1. 体积小巧处理4寸及以下样品、一键式操作，适用于科研院所等各种实验环境

2. 高效清洗，快速达成需要的表面处理工艺；

3. 13.56Mhz低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料

4. 可用于表面改性、去胶工艺、键合工艺等

PT系列产品自推出以来，得到了诸多科研院所客户朋友的认可，经过一段时间的老师使用反馈，我们收集了部分课题组反馈的使用报告。

新加坡国立大学课题组使用情况：

在叠层电池的制备过程中，使用“雷博科仪”的plasma清洗机（PT500型号）对器件的功能层进行表面改性处理，具体操作为：将样品放置于plasma清洗机的腔室中，关好腔室门，设置好相关参数，然后点击运行。

对于单节电池，使用plasma清洗机对ITO玻璃表面进行处理，可显著改善ITO表面的亲水性；

功率和气流量可调，该等离子清洗机清洗效果能很好满足需求使用；

对于单节电池，plasma处理的ITO玻璃可以获得和UV-ozone相当的电池效率；

对于叠层电池中，在使用plasma清洗机处理功能层后，器件效率提升0.6%。

紫外臭氧清洗机

紫外光表面清洗技术在国际上是随着光电子信息产业的发展而提出来的。

2023年3月29日，四川大学赵德威教授和陈聪特聘副研究员、厦门大学唐卫华教授、瑞士联邦材料科学与技术研究所付帆博士等人在《Nature》发表题为“All-perovskite tandem 1 cm2 cells with improved interface quality”的研究论文，该研究表明全钙钛矿串联的1平方厘米的电池，其界面质量得到改善。

四川大学赵德威教授及厦门大学唐卫华教授目前均在使用江苏雷博科学仪器有限公司生产的UC100-SE紫外臭氧清洗机。

UC100-SE紫外臭氧清洗机

UC200-SE紫外臭氧清洗机